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EH系列

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我們?yōu)樯a(chǎn)環(huán)境創(chuàng)造產(chǎn)品解決方案

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我公司為客戶量身設(shè)計單臺真空設(shè)備和系統(tǒng)工程，并提供詳細的售前技術(shù)咨詢，售中技術(shù)支持，售后技術(shù)服務(wù)。

: 廣闊的業(yè)務(wù)范圍
有著諸多的合作業(yè)績和經(jīng)驗

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產(chǎn)品介紹技術(shù)參數(shù) 性能特點

概述

防爆型機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。
EH250C 機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。
防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請咨詢 Edwards。

技術(shù)數(shù)據(jù)

容積（工作容積）
50Hz	310 m3h-1/185 ft3min-1
60Hz	375 m3h-1/220 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40	240 m3h-1/141 ft3min-1
E1M80 或 E2M80	274 m3h-1/161 ft3min-1
泵的壓差
50Hz	0-180 mbar/0-140 Torr
60Hz	0-150 mbar/0-115 Torr
入口連接	ISO63
出口連接	ISO40
轉(zhuǎn)速 ?
50Hz	0-2900 rpm
60Hz	0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr
較大出口壓力	1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵	GV80，E1M/E2M40，E1M/E2M80
電源電壓，3 相
50Hz	220 – 240V/380 – 415V
60Hz	230V/460V
馬達功率
碳氫化合物	2.2kW/3hp
PFPE	2.2kW/3hp
ATEX	2.2kW
防爆型	3 相
環(huán)境溫度范圍
操作	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲	-10 至 80°C/14 至 176°F
較大操作濕度	90% RH
推薦用油
標(biāo)準(zhǔn)型	Ultragrade 20
PFPE 版本	Fomblin YVAC 16/6
油容量
聯(lián)結(jié)器箱	1.5 升/1.6 qt
軸桿封口儲油器	0.125 升
重量*	69 kg/152 lb

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
- 安靜的無振動運行。
- 牢靠且防腐蝕。
- 先進的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到較低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要較高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制程
- 真空蒸餾
- 真空包裝
- 鋼脫氣
- 薄膜覆層
- 真空冶金
- 低密度風(fēng)洞
- 空間模擬
- 真空浸漬
- 油干燥和脫氣
- 制藥冷凍干燥
- CO2 激光

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